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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心電力通訊·電阻率儀系列BX-Y1246B600高溫四探針雙電組合電阻率測試儀

600高溫四探針雙電組合電阻率測試儀
產(chǎn)品簡介:

600高溫四探針雙電組合電阻率測試儀用于:企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
雙電測四探針儀是運用直線四探針雙位測量。設(shè)計參照單晶硅物理測試方法并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

產(chǎn)品型號:BX-Y1246B

更新時間:2024-05-15

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪問量:1621

服務(wù)熱線

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產(chǎn)品介紹

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產(chǎn)品用途:600高溫四探針雙電組合電阻率測試儀

用于:企業(yè)、高等院校、科研部門對導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).

雙電測四探針儀是運用直線四探針雙位測量。設(shè)計參照單晶硅物理測試方法并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

儀器特點:600高溫四探針雙電組合電阻率測試儀

采用四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合配置高溫四探針測試探針治具與PC軟件對數(shù)據(jù)的處理和測量控制,解決半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對溫度變化測量要求,軟件實時繪制出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜,及過程數(shù)據(jù)值的報表分析.

技術(shù)參數(shù):

1.方塊電阻范圍

10^-6~2×10^5Ω/□

2.電阻率范圍

10^-7~2×10^6Ω-cm

3.測試電流范圍

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

4.電流精度

±0.1讀數(shù)

5.電阻精度

≤0.3%

PC軟件界面

顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率

7.測試方式

雙電測量

8.四探針儀工作電源

AC 220V±10%.50Hz  <30W

9.誤差

≤3%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果

10.溫度(選購)

常溫--200;400℃;600℃;800℃;1000℃;1200℃;1400℃;1600℃

11.氣氛保護(氣體客戶自備)

常用氣體如下:氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn),均為無色、無臭、氣態(tài)的單原子分子

12.溫度精度

沖溫值:≤1-3℃;控溫精度:±1°C

13.升溫速度:

常溫開始400℃--800℃需要15分鐘;800℃-1200℃需要30分鐘;1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘

14.高溫材料

采用復(fù)合陶瓷纖維材料,具有真空成型,高溫不掉粉的特征

15.PC軟件

 

測試PC軟件一套,USB通訊接口,軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)!

16.電極(探針)材料標(biāo)配 

鎢電極或鉬電極+電極(探針)陶瓷管 +高溫陶瓷樣品臺,1套.

17.探針間距

直線型探針,探針間距:4mm;

18.樣品要求

樣品長度要求13mm  樣品寬2mm或直徑≥13mm

19.高溫電源:

 

供電:400-1200℃ 電源220V,功率2-4KW;380V;1400℃-1600℃電源380V;功率4-6KW:

20.標(biāo)配外(選購):

a電腦和打印機1套;b.標(biāo)準(zhǔn)電阻1-5個;

c.S型鉑銠探針電極(溫度范圍:200-1300度);

d.B型鉑銠探針電極(溫度范圍:1400-1600度)




 

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